Kryopump -System -Steuereinheit

Die Kryopump -System -Steuereinheit ist das "Gehirn" des gesamten Kryopump -Systems, das für die genaue Regulierung und die umfassende Überwachung des Betriebs des Kryopumps verantwortlich ist, um den stabilen und effizienten Betrieb des Kryopumps sicherzustellen.

Schlüsselmerkmale:

• Betriebskontrolle: Sie übernimmt die Hauptaufgabe, die kryogene Pumpe zu starten und zu stoppen, und kann die Geschwindigkeit der Pumpe entsprechend dem tatsächlichen Bedarf genau einstellen. Durch die Anpassung der Geschwindigkeit kann die Pumprate des Kryopumps flexibel gesteuert werden, um sich an verschiedene Vakuumumgebungen und Prozessanforderungen anzupassen. Beispielsweise ändert sich in verschiedenen Stadien der Halbleiterherstellung die Nachfrage nach Vakuumspiegel dynamisch, und die Steuereinheit kann die Geschwindigkeit des Kryopumps entsprechend anpassen, um einen geeigneten Vakuumzustand aufrechtzuerhalten.
• Parameterüberwachung: Echtzeitüberwachung einer Reihe von Schlüsselparametern im Kryopump-System, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Temperatur, Druck, Flüssigkeitsniveau usw. Bei Temperaturüberwachung, beispielsweise die Temperatur des Kühlsystems von a Kryopumpe wirkt sich direkt auf die Leistung aus, und die Steuereinheit verfolgt diese Temperaturdaten kontinuierlich, um sicherzustellen, dass das Gerät im entsprechenden Temperaturbereich arbeitet. Sobald der Parameter abnormal schwankt, wird der entsprechende Schutzmechanismus sofort ausgelöst.
• Sicherheitsschutz: Eingebauter Sicherheitsschutzmechanismus, um die Sicherheit von Ausrüstung und Personal auf Allround zu gewährleisten. Wenn der Systemdruck als zu hoch erfasst wird, wird das Druckentlastungsgerät schnell begonnen, um schwerwiegende Unfälle wie die Schädigung von Geräten oder sogar die Explosion zu verhindern, die durch übermäßigen Druck verursacht werden. Wenn sich der Motorstrom überlastet, schneiden Sie die Stromversorgung rechtzeitig ab, um zu vermeiden, dass der Motor ausbrennt. Gleichzeitig verfügt es auch über die Funktionen des Leckageschutzes und des Übertemperaturschutzes, um eine feste Sicherheitslinie für den stabilen Betrieb des Systems zu erstellen.
• Fehlerdiagnose und Alarm: Intelligente Analyse des Betriebsstatus des Kryopumpels jederzeit, sobald die abnormale Situation erfasst ist, kann der Fehler und die Lage schnell und genau diagnostiziert werden. Wenn beispielsweise die Pumpeffizienz der Pumpe plötzlich sinkt, analysiert die Steuereinheit die relevanten Parameter, um festzustellen, ob das Adsorbens in der Pumpe fehlgeschlagen ist oder die Rohrleitung durchgesickert ist. Nachdem der Fehler bestätigt wurde, wird sofort ein hörbares und visuelles Alarmsignal gesendet, und die Fehlerinformationen werden deutlich auf dem Display -Bildschirm angezeigt, um den Bediener daran zu erinnern, rechtzeitig damit umzugehen.