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ICTP250W Semiconductor Intelligent Kryopump
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Incoterm:FOB,CFR,EXW,CIF
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Produkteigenschaften

MarkeBamasupercon

Verpackung & Lieferung
Verkaufseinheiten : Set/Sets

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ICTP200 Kryogene Pumpen
ICTP320 Kryopumps
Produktbeschreibung
Das ICTP Semiconductor Intelligent Kryogene Pumpensystem ist ein vollständig intelligentes kryogenes Pumpensystem mit automatischen Betrieb, schnellen Regeneration und Fertigstellungsfunktionen sowie der Fähigkeit zur Überwachung der Ausführung.
Für PVD -Parameter
250W-PVD
Für Ionenimplantatparameter
250W-Ion
Hauptmerkmal
1. Es hat eine schnelle Regenerationsfunktion
2.LT hat eine vollständige Regenerationsfunktion
3. automatisch den Vakuumgrad von kryogenen Verschiebungen nachweisen
4.Automatisches Regenerationssystem für die interne Erheizung und die Füllung von Wagen
5. External Stickstoffladeladung
6. Mit einem Sicherheitsventil ausgestattet, das mit der Schwanzgasbehandlungsvorrichtung verbunden werden kann
7.Intelligent "adaptive" Technologie-automatische Tieftemperatur-Wärmellastkompensations-Ernährungsfrequenzmotor-System
8.Lover Aoquisitionskosten-Each-Kompressor kann mehr pumpen-more-energieeffiziente Unterstützung unterstützen
9.Lokaler oder Fernbetrieb kann realisiert werden
10. Mit dem Operationsgriff ausgestattet, kann Fehlerquery und die Änderung der Parameter erkennen,
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