Kryogene Vakuumpumpe: Eine kryogene Vakuumpumpe ist ein hohes Vakuumerfassungsgerät, das auf dem Kondensationsdruckreduktionseffekt von Gasen basiert, das kondensierbare Gase auf kalten Oberflächen kondensiert und nicht kondensierbare Gase an kaltem festen Adsorbentien reduziert . Kryogene Vakuumpumpen werden in der groß angelegten integrierten Schaltung und der Pan-Semiconductor-Industrie häufig eingesetzt, in denen sie eine unersetzliche Rolle in der Photolithographie, Radierung, Ionenimplantation, physikalischer Dampfablagerung und der Beschichtungsprozesse von gebogenen Bildschirmen für Mobiltelefone spielen, die die Bereitstellung von physikalischen Dampfablagerungen haben, zur Verfügung stellt notwendige hohe Vakuumbedingungen in den oben genannten Industrien.
Anwendungscryopumps werden in verschiedenen Feldern häufig verwendet, darunter: Semiconductor Manufacturing: Für Prozesse, die ultrahohe Vakuum (UHV) Bedingungen erfordern MBE). Research und Entwicklung: In Labors, die saubere und kohlenwasserstofffreie Umgebungen erfordern.
Suzhou Bama Superconductive Technology Co., Ltd.